مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی تایید (کنترل) همراستایی برای لیتوگرافی پرتو الکترون

مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی تایید (کنترل) همراستایی برای لیتوگرافی پرتو الکترون


مقاله ترجمه شده انگلیسی به فارسی عنوان انگلیسی: Alignment verification for electron beam lithography عنوان فارسی: تایید (کنترل) همراستایی برای لیتوگرافی پرتو الکترون چکیده:   همراستایی بین لایه های لیتوگرافی برای تولید ابزار ضروری می باشد. نقص جزئی در یک علامت مجزایی می تواند منجر به هم ترازی غیرصحیح شود و می تواند منبع تعدیل ویفر باشد. در این مقاله، ثابت می کنیم که این امر می تواند به وسیله مشخصه های هم ترازی اضافی برای بررسی هم ترازی در طول الگوبرداری، به جای بازرسی الگوهای ورنیه بعد از کامل شدن طراحی جلوگیری شود. تعداد صفحات انگلیسی: 4 تعداد صفحات فارسی: 11 سال مقاله: 2014 فرمت فایل: Pdf انگلیسی+ Word فارسی …

حتما ببینید

مرکب استامپ برای اشیای داغ

مرکب استامپ برای اشیای داغ فرمول مرکب استامپ برای اشیای داغ به صورت فایل پی …